等離子光譜儀在應用環節中難免會有應用欠妥的地區，以至于儀器設備使用壽命的降低，因此 在應用等離子光譜儀的情況下還要加強防護工作，以下是幾個有關等離子光譜儀的應用及其維護保養
　　1、對進樣系統軟件及炬管的維護保養
　　霧化器是進樣系統軟件中高精密，主要的部分，要有效的維護保養和應用。要定時的潔凈，尤其是測量高鹽溶液以后，霧化器的頂端，炬管噴嘴會積有鹽份，導致氣溶膠管道不暢，常常反映出的是測量強度降低，儀器設備反射功率上升等。炬管上積塵或積碳都是會干擾引燃等離子體焰炬和平穩，也干擾反射功率，因而，要定時用酸洗，水洗，在最后，用無水乙醇洗并烘干，常常維持進樣系統軟件及炬管的潔凈。

　　2、對氣體系統控制的維護保養
　　ICP的氣體系統控制是不是平穩正常地運作，可以直接干擾到儀器設備測量數據的優劣，假如氣路中有水珠、機械雜物雜屑等都是會導致氣流不穩定，因而，對氣體系統控制要常常開展檢測和維護保養。
　　3、防塵
　　國內通常實驗室都不怎么具有防塵、過濾塵埃的離子光譜儀，當實驗室內要選用排風機，排出儀器設備的熱量及工作時造成的有害物質時，實驗室與外界就產生壓力差，實驗室造成負壓，戶外帶有大量的塵土的空氣從窗門的間隙中流向房間內，大量的堆積在儀器設備的每個部位上，易于導致高壓元件或接頭點火，電路板及接線、插座等短路、漏電等各種的系統故障，因而，要常常開展除塵。針對儀器設備除塵，通常由電子，儀修或電腦的專業人士協助，儀器設備應用或管理人員如不太懂電子專業知識，不了解儀器設備構造，不可以隨便去動，以防出現意外，除塵應事前關機并關閉供電電源下開展。